微型線性壓電位移臺

Xeryon微型線性壓電位移臺的XLA系列（XLA-1/3/5/10）憑借其超緊湊設(shè)計、納米級精度、高速度和Crossfixx™超聲波壓電驅(qū)動技術(shù)，在多個高精度運動控制領(lǐng)域具有優(yōu)勢。

XLA系列微型線性壓電位移臺核心參數(shù)-運動控制的突破

XLA系列核心參數(shù)

• 大行程5-285mm

• 分辨率78nm-1250nm

• 重復精度80nm

• 速度5.5mm/s-85.6mm/s
  

選型建議

·高精度需求：優(yōu)先選擇XLA-1或XLA-3（分辨率達78nm，雙向重復精度±160nm）。

·大負載應用：選擇XLA-10（驅(qū)動力10N，保持力10N）。

·緊湊設(shè)計：XLA-1（僅5.4mm厚度）適合空間受限場景。

·高速運動：開環(huán)版本均支持1000mm/s。

控制器兼容性

·所有型號均支持以下控制方式：

·Windows圖形界面

·LabVIEW/Matlab腳本

·C++/Python庫

注：閉環(huán)版本需搭配專用控制器（XD-OEM/XD-A），開環(huán)版本內(nèi)置控制器。

應用場景

1. 半導體與光刻設(shè)備

·光刻機精密對準：
XLA-10的高分辨率（78nm）和雙向重復精度（±160nm）適合晶圓臺的微米級定位。（如ASML光刻機中的掩模版調(diào)整）

·晶圓檢測設(shè)備：
XLA-5的快速響應（點對點定位時間25ms）用于自動對焦和掃描平臺。

·優(yōu)勢

·無磁干擾

·耐真空兼容（可選HV版本）

2. 生命科學與醫(yī)療設(shè)備

·共聚焦顯微鏡

·微創(chuàng)手術(shù)機器人

3. 光學與光子學

·自適應光學系統(tǒng)

·激光加工設(shè)備

·技術(shù)亮點

·無振動運動（超聲波電機）
·支持LabVIEW/Python控制（快速集成）

4.工業(yè)自動化與檢測

5.科研與定制化儀器

·低溫實驗環(huán)境

·超真空腔體

6.新興技術(shù)領(lǐng)域

·AR/VR光學模組

·生物打印