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193nmDUV深紫外單縱模固體激光器

簡(jiǎn)要描述：193nmDUV深紫外單縱模固體激光器，光譜帶寬接近其理論傅立葉極限。該193nm激光器的中心波長(zhǎng)可在185和194 nm之間的范圍內(nèi)定制，訂購(gòu)時(shí)可配置為固定波長(zhǎng)。

產(chǎn)品型號(hào)：

廠商性質(zhì)：代理商

更新時(shí)間：2025-11-18

訪問(wèn) 量：172

品牌	昊量光電	產(chǎn)地類(lèi)別	國(guó)產(chǎn)
應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

德國(guó)xiton photonics公司是二極管泵浦固體激光器和非線性光學(xué)器件的專(zhuān)家。可以開(kāi)發(fā)和制造幾乎任何所需波長(zhǎng)的可靠激光系統(tǒng)，重點(diǎn)開(kāi)發(fā)193nm的DUV深紫外固體激光器，總部位于德國(guó)，擁有20多年的激光器研發(fā)經(jīng)驗(yàn)。

193nmDUV深紫外單縱模固體激光器：

IXION 193 SLM是一款單頻全固態(tài)激光系統(tǒng)，適用于光學(xué)計(jì)量、193納米光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)或高功率ArF準(zhǔn)分子激光器帶寬控制等應(yīng)用。光譜帶寬接近其理論傅立葉極限。該193nm激光器的中心波長(zhǎng)可在185和194 nm之間的范圍內(nèi)定制，訂購(gòu)時(shí)可配置為固定波長(zhǎng)。

193nmDUV深紫外單縱模固體激光器參數(shù)：

Wavelength/波長(zhǎng)	193.368 nm
Average power/平均功率	10 mW
Pulse duration/脈寬	typ 8-12 ns
Energy per pulse/單脈沖能量	1.6 µJ
Repetition rate/重復(fù)頻率	1-15 kHz
beam quality/光斑質(zhì)量	M2 < 1.6
Spectral bandwith/譜寬	< 80 MHz
Spectral tunability/光譜可調(diào)諧范圍	> 10 pm
coherence length/相干長(zhǎng)度	> 2 m
Pulse to pulse stab./脈沖穩(wěn)定性	σ < 2.5 %